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所在地区:广东/佛山市
主营产品:智能电能质量补偿装置,有源滤波器,三相不平衡补偿装置,静止无功发生器,节电器...
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产品原理
磁控溅射电源的阳极、阴极分别连接做基体和靶材上,将一个强烈磁控管装置做靶材后部。当镀膜室被抽成真空状态时,充入一下氩气等惰性气体,镀膜室内的高压将氩原子电离成电子和氩离子,形成等离子异常辉光放电。电离出来的电子在高压电场的作用下,做加速运动,不断与氩原子发生强烈碰撞,这样产生许多二次电子和氩离子。电子经过多次碰撞,电子的动能就会降低,从而脱离了磁力线的束缚,落在镀膜室内壁、阳极和集体上。氩原子受到多次氩离子碰撞,得到了大量动能,从而脱离了原来晶格束缚,飞向基片,从而大量的靶材原子积累在基体表面、沉积形成薄膜。组成靶材各种材料都可以成为阴极靶,用来进行溅射镀膜。当靶材的材料不同时,磁控溅射工艺对电源输出特性也不尽相同。
产品参数
输 入 电 压:市电AC380V±10%
输出功率范围:0~80kW
输出电压范围:0~±5000V
输出电流范围:0~±100A
脉冲频率范围:0~50Hz
产品特点
适用于真空磁控溅射,可以根据真空设备与溅射要求设定电流、电压阈值, 工作频率、输出极性、工作模式;
本电源能实现交直流切换输出;稳流稳压多种模式切换;
中频、偏压两种编程输出;输出剥削可以设置实现正弦、脉冲方波、三角波、 梯形波等多种波形。
创立时间
公司类型
注册资本
经营模式
主营:电气设备技术研究;配电开关控制设备、电气机械和器材、变电站设施、工业自动控制系统装置、配电开关控制设备、变压器制造、销售,社会公共安全设备及器材、水资源专用机械、阀门、水泵、制冷设备、电线电缆、电力电子元器件、仪器仪表(不含计量器具)设计、制造、销售;电气工程施工。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)
创立时间
公司类型
注册资本
经营模式
主营:电力设备仪器仪表工器具金具,电力配件、输配电辅件集成供应商,电力行业产品供应商首选。
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