佛山诺亚电器

智能电能质量补偿装置,有源滤波器,三相不平衡补偿装置,静止无功发生器,节电器...

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诺亚磁控溅射电源厂家直销 真空镀膜机电源
价格: 150000.00/元台
起订量: 1 台
产品品牌: 诺亚特变
地址: 广东省佛山市禅城区汾江北路91号(原国营佛山变压器厂)

佛山诺亚电器

联系姓名:钟元海

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所在地区:广东/佛山市

主营产品:智能电能质量补偿装置,有源滤波器,三相不平衡补偿装置,静止无功发生器,节电器...

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  • 型号 NYCK60KW
  • 输入电压 400V
  • 输出电压 0-5000V
  • 输出功率 0-80KW
  • 输入电流 100A
  • 物流编号 NYCK60KW

 

产品原理

磁控溅射电源的阳极、阴极分别连接做基体和靶材上,将一个强烈磁控管装置做靶材后部。当镀膜室被抽成真空状态时,充入一下氩气等惰性气体,镀膜室内的高压将氩原子电离成电子和氩离子,形成等离子异常辉光放电。电离出来的电子在高压电场的作用下,做加速运动,不断与氩原子发生强烈碰撞,这样产生许多二次电子和氩离子。电子经过多次碰撞,电子的动能就会降低,从而脱离了磁力线的束缚,落在镀膜室内壁、阳极和集体上。氩原子受到多次氩离子碰撞,得到了大量动能,从而脱离了原来晶格束缚,飞向基片,从而大量的靶材原子积累在基体表面、沉积形成薄膜。组成靶材各种材料都可以成为阴极靶,用来进行溅射镀膜。当靶材的材料不同时,磁控溅射工艺对电源输出特性也不尽相同。

产品参数

输 入  电 压:市电AC380V±10% 

输出功率范围:0~80kW 

输出电压范围:0~±5000V 

输出电流范围:0~±100A 

脉冲频率范围:0~50Hz

产品特点

适用于真空磁控溅射,可以根据真空设备与溅射要求设定电流、电压阈值, 工作频率、输出极性、工作模式;

本电源能实现交直流切换输出;稳流稳压多种模式切换;

中频、偏压两种编程输出;输出剥削可以设置实现正弦、脉冲方波、三角波、 梯形波等多种波形。

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