GPR單面研磨拋光機

·         產品功能：去除玻璃刮傷、玻璃減薄、光罩拋光

·         產品優點：上下定盤平坦度公差為±0.01mm。使研磨前後平整性佳，技術領先日韓設備。 上下定盤使用特殊鋼材製作而成，抗壓能力及抗拉強度特高，充分減少使用後變形的情況。 設備皆自行研發，故可達客製化效果。 人機操作介面便於人員操控設定，可依客戶需求增加設定功能。 自動控管循環系統，使研磨液反覆回流攪拌桶，降低Slurry使用成本。

·         商品介紹

·         型式規格  ：GPR-1200

·         機台型式 ：標準機型

·         基板尺寸 ：550mm x 650mm

·         上載盤直徑：1000mm 的載盤

·         下研磨盤直徑 ：1200mm 研磨盤

·         加壓壓力 ：500Kg

·         研磨盤速度 ：5~60 rpm

·         拋光馬力 ：30HP

·         電源：3Φ4W AC380V 50/60Hz

·         設備尺寸 ：L3000*W2800*H2500(mm)

·         重量：6500Kg

·         總耗電量：55KVA

·         耗風量：150 L/ cycle

·         產品規格 /

·         ．採用進口廠牌 reducer，輸出扭力大、背隙小，並使用錐形齒輪傳動，輸出效率更佳。
．使用變頻專用馬達，可固定轉矩，穩定性較一般馬達更好。
．上定盤軸承採用進口廠牌自動對心軸承，壽命長、穩定度佳，提高研磨均勻度。
．轉動結構採用多段密封，不易進水。
．搖擺軸承採用進口廠牌，精密度較高且耐用性佳，僅需做定期補給油酯，即能使內部保持潤滑，充
分減少磨耗損傷狀況。

·         產品功能 /

·         ．去除玻璃刮傷
．玻璃減薄
．光罩拋光

·         產品優點 /

·         ．上下定盤平坦度公差為±0.01mm。使研磨前後平整性佳，技術領先業界設備。
．上下定盤使用特殊鋼材製作而成，抗壓能力及抗拉強度特高，充分減少使用後變形的情況。
．設備皆自行研發，故可達客製化效果。
．人機操作介面便於人員操控設定，可依客戶需求增加設定功能。
．自動控管循環系統，使研磨液反覆回流攪拌桶，降低Slurry使用成本。
．壓力自動補償。
．因有拋光機上述專利，可有效控制微灰點的產生。
．壓力控制採用電空比例閥及迴路控制，可確保拋光壓力的穩定度。