二手美国ZYGO带软件平面激光干涉仪  球面曲率半径激光干涉仪

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随着科技的进步,现代干涉测量技术具有量程大、精度高、分辨率高以及操作方便等优点,在各项领域得到了广泛的应用。根据ZYGO干涉仪测量方案构建了一个测量样品面形的实验光路,并对一系列样品进行测量,通过对标准镜与被测样品表面之间所夹空气层的干涉图像分析,可以得到被测样品的表面面形状况,并可以通过MetroPro软件直接读取波峰波谷值PV、均方值rms、矢高Power、干涉条纹图、截面面形高度图、面形厚度假色图等,测量精度达到仪器指标。本文研究测量原理,扩展ZYGO干涉仪对测量薄膜厚度和曲率半径的应用。

二手美国ZYGO带软件平面激光干涉仪  球面曲率半径激光干涉仪

主要参数1、干涉仪主机配计算机及操作软件，激光稳频，QPSI抗震移相,精度1/10 Wave（PV）；

2、球面标准镜尺寸为6，精度为1/10 Wave（PV）；

3、平面标准镜尺寸为6，精度为1/20 Wave（PV）；

4、五维调整架（xy偏心，xy俯仰，z轴平移，绕z轴旋转）与自定心夹具配合，夹持尺寸为4；

5、精密直线导轨形成1m，小位移0.020 µm，精度±4.0 µm；

6、主动隔振光学平台，长/宽/高（mm）2400/1500/200，0.5-10HZ振动隔离

功能用途光学元件表面面形及光学系统透射波前像差测量

1、ZYGO GPI XP/D 型激光干涉仪

1)对准系统： 快速条纹采样系统(QFAS) (双光点定位于十字线)

2)放大范围： 6:1（非连续式放大，低失真）调整可视范围

3)尺寸：308 x 694 x 308 mm

4)重量：36 Kg

2、ZYGO原装MetroPro测量软件

1) Microsoft Windows XP专业版下运行的ZYGO MetroPro软件

2)  测量方法：激光三维相移干涉法

3)  测量功能：精密测量各种不同反射面或光学面的形貌及特性

3、6英寸标准平面镜头1个

4、计算机 ：LENOVO PC主机一台；电脑液晶彩显两台,

性能参数：

1、测量重复性：1λ/300 (2σ )

2、RMS 重复性：2 λ/10,000 (2σ)

3、数据采样： 640x480 像素,8位

4、分辨率 gt;λ/8,000

5、条纹分辨率：180条纹

7、数据采样时间：低分辨率(7幅数据图像):93 ms ；高分辨率(13幅数据图像):173 ms

8、测量光束直径：102 mm