太阳能光伏专用设备及辅助设备、非标自动化设备及备件销售、安装、调试；光伏技术...
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ALD高浓度臭氧系统：此设备应用ALD镀膜设备，使用300mg/L的臭氧浓度。用于太阳能电池N型 电池被钝化工艺，加速AL2O3的沉积速率
1、采用自主高浓度采用发生器。
2、多重自动化监测控制，双系统设计。
3、数字化仪表流量控制更加精准。
4、高精度冷却系统，设备运行更稳定。
5、可一拖一，一拖二。
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