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恒歌厂家不锈钢过滤芯包边过滤器PECVD系统气体扩散分布器
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产品品牌: 恒歌
地址: 深圳市龙岗区平湖街道富安西路51-3号1栋

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  • 工作温度 600(℃)
  • 进出口径 定制(mm)
  • 过滤面积 0.01-1000
  • 耐压 5MPa
  • 原水压力 定制(KG/c㎡)
  • 过滤精度 0.1-120μm

PECVD系统的气源几乎都是由气体钢瓶供气,这些钢瓶被放置在有许多安全保护装置的气柜中,通过气柜上的控制面板、管道输送到PECVD的工艺腔体中。在淀积时,反应气体的多少会影响淀积的速率及其均匀性,恒歌PECVD气体扩散分布器用于PECVD系统中,控制均布气体流量,去除过滤气体流路中的杂质。不锈钢材质,高强度高硬度,耐腐蚀,高精度,过滤效率高,可反复清洗后使用。可应用于气体pecvd系统、纯水EDI/RO反渗系统、高温烟气厂气体净化系统、惰性气体系统、医用气体系统、气体内能系统等。

不锈钢滤芯特点

结构稳定,不掉渣造成原液,碎渣对机械设备造成损坏
外观精美,通过恒歌独特的无缝一体化烧结而成,外表进过特殊抛光工艺使产品外观光亮且无毛刺
内部孔隙率高,孔径分布合理且均匀可实现气体液体过滤
机械强度高,刚性好,塑性良好
过滤精度高(0.2~120微米)可按照设备需求定制不同精度

恒歌有专业的技术团队提供技术支持,可按需定制、来图来样设计定制产品。


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