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实验室高纯气路布局

实验室供气系统的功能

满足不同实验的要求和安全性，双瓶采用汇流排供气设备，具有手动、半自动和全自动切换功能，并没有低压报警装置，实时监控气压、浓度检测报警和排确保客户正常用气和生命财产安全。

气路系统常用设备

钢瓶(气体压缩机)、钢瓶国定架、钢瓶柜、钢瓶接头、金厘软管、半自动开关装置、一级减压器、二级减压器、焊接三通、焊接大、小封头、夹紧套情阀、不锈钢管(BA)、压力表、可燃有毒气体监测报警装置等。

实验室集中供气系统技术要求

1、气瓶存放室:

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(1)气瓶之间应采用300毫米厚的实心墙，安装防爆门，设置防爆裔

(2)室内电气设备应具有防爆功能:

(3)应安装排气扇，随时保持良好的通风状态

2、供气系统需要两级减压供气。供气汇流排减压，气体从15MPa减压到小于1.5MPa，然后输送到每个气体使用实验室。二级减压器安装在每个用气实验室或用气点，便于对通风柜或仪表的气体输送压力进行统一控制，用气终端装有中压球阀和压力指示器。二级减压器调节压力(.01兆怕，获得稳定的压力，可以满足仪器对不同使用压力的要求，一级减压器和二级减压器均配有压力表，可实时显示当前压力.

3，采用双侧汇流排半自动方式连续供气，实验室使用要求，更换气瓶时，可以通过安装在高压软管下方的夹紧衰更换气瓶。

4、应设计气体泄漏检测和报警装置，并安装阳火器，以防止明火回流。应确保放置易燃和助燃气体的足够安全距离.

实验室高纯气路布局1,高纯气体管道系统的布置不同于普通气体管道。一般来说，要求管道不要太长，不要有死角，如不容易吹干净的“盲管”。主管或支管的未端应提供必要的排放口和取样口。在一些非连续使用的用户中，让少量气体在管道未端连续排出，从而管道中的气体将正常流动，避免出现”死区，根据工艺气体的质量要求，必凭时应设置终端净化装置。一般来说，控制阀、过减器、减压装置、压力表、流量计、在分析仪器等，进入洁净车间的高纯度气体管道集中在气体人口室，便于

统一管理和控制。2.高纯气路管道及管道附屋材料高纯气体管道输送管道应根据工艺对气体纯度、允许杂质含量、颗粒含量等的不同要求，采用相应质量的管道。例，半号体工业仅需要清洁的生产环境，而目由于其复杂的生产过程和精细加工，对生产过程中所需的各种高纯度气体也有具体和严格的要求，从微米技术到亚徽米和深亚微米小于0.35um)技术，对气体中杂质含量和水分含量的要求非常严格，10-6 ppm级)不能满足要求，需要达到10-9 (ppb级)其至10-12pt级)，粉尘粒经要控制在0.05-0.01 um。因此，输送管道的管道材料特性必须满足高纯度和超高纯度气体的要求。

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3,管道材料的特性对于输送高纯气体的管道，影响气体质量的管道材料的主要特性是透气性、出气率、吸附性、表面粗糙度、耐磨性和耐腐蚀性.供气系统管道安装要求

1、管道教设应符合设计要求，设计没有要求时，千气管道应水平安装 输送湿气的管道应安装坡度不小于0.003，城度应期向冷疑水收集器2.管道采用焊接连接，钨极盒矿煤打底，手工电弧焊看盖。不锈钢管焊接或点煤应采取充氯保护措施,3.气体管道和设备，阀门和其他附性应通过法兰或想纹连接，慢纹接头的填料必须是娶四氧了,烯演膜.

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4、气体管道穿过洁净室时，法兰垫片或摆纹填料的外露部分，必须清理干净:5,气体管道采用喷砂除锈或酸洗钝化无缝钢管时，必须采用集中安装方式，安装应在48小时内分段组合，每气保护，填充压力不小于0.2兆帕6对干有接地要灭的燃气管道，法兰之间必须是接导电刚线，导休截面和煤接塔接长度应符合设计要求，俱与必须定固可靠

供气管道安装注意事项1.所有气体管道由高质量、退火和无缝不锈钢管组成，铜管仅用于输气管道的末端，对气体纯度的要求不太严格。(例如通风橱)。2、气路安装管道不得数设电缆和导电线。