光学轮廓仪/白光干涉仪/Zeta-300 Optical Profiler
Zeta-300支持3D量测和成像的功能，并提供整合隔离工作台和灵活的配置，可用于处理更大的样品。该系统采用ZDot™技术，可同时采集高分辨率3D数据和True Color（真彩）无限远焦点图像。Zeta-300具备Multi-Mode（多模式）光学系统、简单易用的软件、以及低拥有成本，适用于研发及生产环境。
产品描述
Zeta-300光学轮廓仪是一种非接触式3D表面形貌测量系统。Zeta-300继承了Zeta-20的功能，并增加了隔离选项以及处理更大样品的灵活性。该系统采用ZDot™技术和Multi-Mode(多模式)光学系统，可以对各种不同的样品进行测量：透明和不透明、由低至高的反射率、由光滑至粗糙的纹理，以及纳米至毫米级别的台阶高度。
Zeta-300的配置灵活并易于使用，并集合了六种不同的光学量测技术。ZDot™测量模式可同时收集高分辨率3D扫描和True Color无限远焦距图像。其他3D测量技术包括白光干涉测量、Nomarski干涉对比显微镜和剪切干涉测量。ZDot或集成宽带反射计都可以对薄膜厚度进行测量。Zeta-300也是一种高端显微镜，可用于样品复检或自动缺陷检测。Zeta-300通过提供很好的台阶高度、粗糙度和薄膜厚度的测量以及缺陷检测功能，适用于研发及生产环境。
主要功能
·采用ZDot和Multi-Mode（多模式）光学器件的简单易用的光学轮廓仪，具有广泛的应用
·可用于样品复检或缺陷检测的高质量显微镜
·ZDot：同时采集高分辨率3D数据和True Color（真彩）无限远焦点图像
·ZXI：白光干涉测量技术，适用于z向分辨率高的广域测量
·ZIC：干涉对比度，适用于亚纳米级别粗糙度的表面并提供其3D定量数据
·ZSI：剪切干涉测量技术提供z向高分辨率图像
·ZFT：使用集成宽带反射计测量膜厚度和反射率
·AOI：自动光学检测，并对样品上的缺陷进行量化
·生产能力：通过测序和图案识别实现全自动测量
主要应用
·台阶高度：纳米到毫米级别的3D台阶高度
·纹理：平滑到非常粗糙表面的粗糙度和波纹度
·外形：3D翘曲和形状
·应力：2D薄膜应力
·薄膜厚度：30nm到100μm透明薄膜厚度
·缺陷检测：捕获大于1μm的缺陷
·缺陷复检：采用KLARF文件作为导航以测量缺陷的3D表面形貌或切割道缺陷位置
工业应用
·LED：发光二极管和PSS（图案化蓝宝石基板）
·半导体和化合物半导体
·半导体WLCSP（晶圆级芯片级封装）
·半导体FOWLP（扇出晶圆级封装）
·PCB和柔性PCB
·MEMS（微机电系统）
·微流体设备
·数据存储
·大学，研究实验室和研究所
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