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主营产品：真空泵、真空系统、真空泵机组
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阿尔卡特真空技术15年来致力于开发产品满足半导体应用的需要。在此基础上，阿尔拉特积累了多年的经验并向大家介绍一款新型大容量干泵系列。
这些泵能够满足FPD、太阳能或其他工业应用中L/L抽气严格的要求。
根据要求的抽速，可选择两种不同型号：AD30KL和AD70KL。
主要特征
高抽速（独特的自动增加模式）
占地面积小
低CoO
减少动力消耗，自动待机模式
冷却水需求量小
无需N2净化
节能的选择：节省动力！
ADKL系列特别为减少运行成本而设计。
相对于传统的抽气方案，它可以节省高达50%的能耗。较小的冷却水需求量，无需N2净化都是它的主要特征。 大容量快速抽气降压：
AD30KL：1800 m3/h
500L 从ATM到10-1mbar，排空时间<25s
AD70KL：3270 m3/h
1000L 从ATM到10-1mbar，排空时间<34s
应用：
·FPD大真空进样室
·太阳能制造进样室
·大容量快速排气
· 大量循环应用
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