静电吸盘_东莞瑞沃半导体设备有限公司

一、静电吸盘原理

静电吸盘是利用物体表面静电效应，产生静电力，实现吸附作用的机电一体化装置。当静电吸盘靠近需要吸附的物体表面时，由于静电吸盘和物体表面间存在静电作用，静电吸盘表面会吸附上物体表面的静电荷。

二、静电吸盘工作原理

静电吸盘采用的是静电荷作用力，当静电吸盘和物体表面间的距离越小，静电吸盘的静电束越集中，因而静电吸盘和物体表面间的静电力也就越大。当物体与静电吸盘接触时，静电荷分布在两者表面之间，形成了静电场。静电场中会产生静电力，将物体吸附在静电吸盘上。

三、静电吸盘的优点

静电吸盘具有很多优点。它既无噪音，也无污染，同时在吸盘表面和被吸物体表面不会产生气流。静电吸盘还可自适应于吸附不同材质的物体，且吸附力不会受环境温度的影响。另外，静电吸盘延寿命长、维护成本低。

四、静电吸盘的应用

静电吸盘广泛应用于半导体生产、电子工业、玻璃生产、自动化运输等领域。在自动化运输领域，静电吸盘可用于机器人吸附物体。在半导体生产领域，静电吸盘则可用于芯片生产、元器件生产等领域。

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