联系姓名：蔡明东
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所在地区：山东/青岛市
主营产品：生产、加工：半导体设备、光伏设备、光学设备等
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设备名称 湿法刻蚀机
用途 晶圆的刻蚀清洗
适用领域 半导体材料、MEMS等
适用工艺 酸刻蚀、碱刻蚀、超声（兆声）清洗、QDR清洗等；
刻蚀方式 槽式刻蚀、单片刻蚀
操作方式 半自动/自动
可清洗尺寸 2吋--12吋晶圆
主体材质 全不锈钢框架，外包进口PP、PVC板
温控精度 ±1℃
转移时间 槽间转移时间小于2秒
安全防护 自动安全门、漏液报警、漏电保护、液位保护、急停、声光报警系统
模块化设计 满足客户多种工艺及产能的定制化要求
可编程菜单，方便用户操作，直观
实时流程显示，可控性强
多级密码，方便管理，安全可靠
自动保存生产数据
可实现远程控制
可实现功能 管理系统（自动供液、自动补液、循环过滤）、在线加热、电导率检测、恒温系统、百级FFU等
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