联系姓名：蔡明东
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所在地区：山东/青岛市
主营产品：生产、加工：半导体设备、光伏设备、光学设备等
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设备名称 | 晶圆电镀设备 |
用途 | 晶圆的电镀 |
操作方式 | 手动/半自动/自动 |
适用领域 | 半导体、LED、MEMS等微电子领域的晶圆电镀 |
适用工艺 | 硅、砷化镓、氮化镓、碳化硅、磷化铟等半导体材料及器件； |
可电镀尺寸 | 2吋--12吋 |
电镀方式 | 槽式溶液电镀 |
电镀类型 | 单面电镀、双面电镀 |
电镀数量 | 1-4片 |
镀层种类 | 铜、金、银、镍、锡等金属 |
电镀方式 | 整面、盲点镀、TSV多孔电镀 |
电镀电源 | 直流、单脉冲、双脉冲 |
电流1—10000mA可调，恒流控制精度1mA | |
阳极 | 可溶/不溶性阳极 |
阴极夹具 | 定制 |
电镀槽 | 阴极移动、电镀液循环过滤、电镀液加热 |
清洗槽 | 喷淋，氮气鼓泡，快排 |
供给 | 手动、自动 |
主体材质 | PP、PVC |
槽体材质 | NPP、PVC、PVDF |
温控精度 | ±1℃ |
安全防护 | 自动安全门、漏液报警、漏电保护、液位保护、急停、声光报警系统 |
模块化设计 | 满足客户多种工艺及产能的定制化要求 |
可编程菜单，方便用户操作，直观 | |
实时流程显示，可控性强 | |
多级密码，方便管理，安全可靠 | |
自动保存生产数据 | |
可实现远程控制 | |
可实现功能 | 管理系统、阴极移动、PH在线监测 |
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