联系姓名：蔡明东
联系电话：13864858158
所在地区：山东/青岛市
主营产品：生产、加工：半导体设备、光伏设备、光学设备等
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设备名称 单片清洗机
用途 晶圆、掩膜版的清洗和甩干
操作方式 自动
适用领域 半导体材料、集成电路、MEMS、LED芯片、功率器件等
适用工艺 晶圆的RCA清洗、兆声清洗和甩干、二流体清洗、刷洗、旋涂等
清洗方式 旋流式冲洗喷嘴，兆声DIW清洗
可清洗尺寸 2吋--12吋晶圆
真空值 显示屏同步显示，可达≤-90KPa
兆声清洗 兆声频率280-950KHz可选，功率可调；
伺服电机 采用进口专用旋转电机，运行安静平稳，0- 3500RPM+转/秒加速仅需0.5秒
真空吸盘 采用PEEK、PTFE材质，强度高、耐腐蚀、密封性能好
载片台 采用真空吸附+PIN定位，防止甩片碎片
主体材质 不锈钢、PP、PVC
槽体材质 不锈钢、PP、PVDF
安全防护 自动安全门、漏液报警、声光报警系统
模块化设计
满足客户多种工艺及产能的定制化要求
可编程菜单，方便用户操作，直观
实时流程显示，可控性强
多级密码，方便管理，安全可靠
自动保存生产数据
可实现功能 可装配装取片机器人
可配置滚刷刷洗；
化学液及纯水自动供应，流量可视可调
可实现远程控制
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