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离子注入技术是当今半导体行业对半导体材料进行掺杂的最主要手段。它的应用使得集成电路进入大规模以及超大规模时代。
Varian公司是世界上研究科学仪器和真空产品的先驱，350D离子注入机是集中了Varian公司发明调速管以来六十年的多项专利技术和军工生产经验而制造的。束流可控性好，输出功率效率同类。长时间在高能状态下运行时，任然具有优异的性能。
Varian 350D具有以下优点：
※ 可控性好：原则上各种元素均可成为掺杂元素；
※ 具有高分辨率的质量分析器，确保纯净掺杂；
※ 可在室温或低温条件下掺杂；
※ 均匀性和重复性很好。
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