安徽盛嘉真空技术

蒸发装置

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二手现货 日 刻蚀装置HATACHI M-308ATW
价格: 6000000.00/元套
起订量: 1 套
产品品牌: HATACHI
地址: 安徽省合肥市经济技术开发区蓬莱路以西、汤口路北1#厂房

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联系姓名:张硕堂

联系电话:18155139250

所在地区:安徽/合肥市

主营产品:蒸发装置

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产品分类

  • 暂无分类
  • 产品特性 二手
  • 是否进口
  • 加工定制
  • 型号 HATACHI M-308ATW
  • 类型 刻蚀装置
  • 产品用途 刻蚀装置

控制系统 1、PLC 自动控制; 

2、7寸触摸屏,图形用户界面; 

3、配方程序为 0~99; 

4、多级权限操作; 

5、图形化曲线图自动监测工艺参数状态及错误信息; 

6、存储工艺数据及错误信息; 

7、报警信息提示及追溯; 

8、图形化界面检测处理参数; 

9、自动、手动操作可切换; 

10、维护提示紧急停止按钮; 

11、门感应器和真空互锁; 

12、机器运行信号指示; 

13、机器运行结束提示; 


设施配置 电  力 五线,三相制AC380V ,50-60Hz。所有配线符合《低压配电设计规范 GB50054-95》、《低压配电装置及线路设计规范》等国标标准相关规定。 





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