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MOCVD气相沉积钼加热器隔热屏导电柱钼组件
MOCVD(金属有机化合物气相沉积)设备是LED半导体外延领域的关键核心设备,其中的加热器又是MOCVD设备的核心部件之一。
MOCVD是一种利用有机金属分解反应进行气相外延生长薄膜的化学气相沉积技术。为了生长出多组分、大面积、薄层和超薄层化合物半导体材料, MOCVD设备除了要考虑系统密封性、流量、组分变换迅速等,重要的是反应腔的温度控制。
MOCVD腔体温度控制精度需达到0.2℃或更高,高的温场均匀性也是产品良率的重要保证。我们的钨、钼、铼、陶瓷等高性能材料是组成加热丝、隔热屏、导电柱等核心加热器部件的关键材料。
宝鸡必隆金属有限公司生产销售钨、钼、钽、铌、锆等有色金属材料及合金的板、棒、丝、带箔及深加工产品如坩埚、紧固件、真空炉炉胆加热室及配件(电极杆\加热带\隔热屏\连接件加强片)、离子注入件、MOCVD、PVD、MBE设备零件、屏蔽件、高比重合金配重件、靶材、舟、料盘等,来图来样定制加工异型件,制成产品广泛应用于航空、航天、真空炉、特种金属、特种玻璃、机械、电子、化工、照明、LED、半导体、太阳能光伏等领域。
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