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所在地区:上海
主营产品:工业窑炉、实验室电炉、马弗炉、电阻炉、管式炉、箱式炉、立式炉、烧结炉、热处理...
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本款CVD管式炉工作温度为300℃至1600℃,配备真空泵,气体混合装置。我们的CVD管式炉采用了温度控制系统,高温精度,出色的气体流量精度,易于操作,出色的隔热效果和温度均匀性。 主要用于大学,研究中心和生产企业进行气相沉积相关的实验与生产。
高温真空管式炉特点
额定温度:
1200℃(HRE电阻丝加热)
1400℃ (硅碳棒加热)
1600℃ (硅钼棒加热)
智能化51段可编程自动控制
双层风冷结构;炉壳表面温度低于50℃
304不锈钢双层密封法兰
两端可调节法兰支撑结构,延长炉管使用寿命
超温保护功能,当温度超过允许设定值自动断电
安全保护当炉体漏电时自动断电
升温速率≦20 ℃ /分
控温精度±1 ℃
真空度-0.08MPa
配置分子泵机组,真空度可达7×10^(-3)Pa
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