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主营产品：质量流量计
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质量流量控制器可以用于控制各种气体 ，包括腐蚀性气体和特殊气体，但是要注意。对于使用腐蚀性气体和特殊气体，需要恰当选择型号和密封材料。用户在订货时 ，需要向供货厂商特殊声明使用气体，以免因为选型或选择密封材料错误，造成严重损失。
通常气体质量流量控制器接触工作气体的湿材料为:316L 不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等，密封材料又分为金属密封和橡胶密封两大类。金属密封的材料一般为不铁钢、金或镍等耐腐饨材料。采用金属密封的 MFC 原则上可以用于任何气体，包括各种腐饨性气体和特种气体。对于三溴化硼、三氯化硼、氟化氢等强腐饨性气体和 MOCVD使用的金属氧化物气体建议采用金属密封的 MFC。由于金属密封的 MFC 价格较高，通常要求不高的场合，均采用橡胶密封的 MFC。如果不特殊声明，MFC 都采用氟橡胶密封，可以用于大多数酸性和碱性腐蚀性气体，例如可以用干氯化气等卤族干燥气体，其它一些特殊腐蚀性气体 ，需要采用特种橡胶。氛气--需要采用耐氨橡胶，如乙丙橡胶、氯丁橡胶或丁晴橡胶;有机溶剂汽氛(丙酮、甲苯等)--需要采用硅橡胶;三溴化硼、三氯化硼、氟化氢等 --需要采用全氟橡胶。
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