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激光干涉仪原理应用

以光波为载体的激光干涉仪具有测量精度高、测量速度快、测量范围广、分辨率高的特点。它的光波波长可以直接定米，可以追溯到标准。因此，激光干涉仪广泛应用于数控机床、印刷电路板钻机、坐标测量机、位移传感器等精密仪器的质量控制和校准、科研开发和高端设备制造。

测量原理。

激光干涉系统发射j激光光束。射入线性干涉镜后，分为两束射入反射镜，然后反射回分光镜，Z回到激光干涉。当光差不变时，激光干涉仪可以在相长干涉和相互干涉的两极之间找到稳定的信号。当光差发生变化时，计算这些变化，测量两个光程之间的差异。

在阳极和阴极之间的高压连接下，产生一种混合气体，产生激光束，通过放大激光的强度将一些光传输到输出激光。在这些参数中，激光稳定频率的精度由加热器控制，激光管的长度保持在0.05ppm。此时，输出稳定后，激光可以干预测量。目前，大多数现代位移干涉仪使用氦激光管，这些激光管的输出波长为633纳米。

激光的频率、功率、稳定性、可靠性、光束质量和寿命等参数与性能有直接关系。其中，激光频率是激光干涉z的基本参数，其频率(波长)的精度和稳定性是激光干涉仪测量精度的保证。

开发激光干预技术。

自1960年以来，梅曼成功开发了红宝石激光，开始了光学技术飞速发展的新时代。此后，激光干涉仪广泛应用于长度、角度、微观形态、转速、光谱等领域，结合微电子和计算机技术，形成了现代干涉仪。

由于激光具有优异的时间相关性，自出现以来，发展了多种激光干预技术:单频激光干预、双频激光。

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