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激光干涉仪知识点科普

激光干涉仪具有测量速度快、精度高等优点，是校准数控机床、坐标测量机等各种定位设备精度和线性指标的通用标准设备，掌握激光干涉仪的使用技术，使测量工作成倍增加。

利用激光干涉技术。

Z轴激光的快速瞄准方法。

与x、y轴准直相比较，用z轴测量激光光路的准直法更难实现。尤其是在z轴距较长的情况下，为保证激光束在反射镜反射后返回激先探测器的强度满足测量对光强的要求，准直激光光路一般需要较长的时间。

轴光束快速瞄准法是一种特殊的标定方法：Z轴位于低端，利用激光器壳体中部瞄准槽，将分光镜置于Z轴上，左右移动Z轴，观察Z轴，保证激光转向后与Z轴平行，左右移动(可盖在Z轴上)，确保激光打在反射镜上。

选择辅助工具。

尽管激光干涉仪的安装部件比较齐全，但是在实际使用过程中还需要额外配置一些辅助工具。

①低矮云台的研制。

有些机床工作台高度与地面平行，在测量Z轴时，若原三角架和激光地面上的三角架因自身高度而丢失测量范围。

②选择磁基；

磁干涉仪是激光干涉仪常用的辅助工具，选用时要注意，表座工作面必须有螺孔与安装镜组配合，将主磁吸面位于底部和侧面的磁吸面分别选用两种类型(实验室或工厂多采用主磁吸面位于底面的表座)，在测量时，往往侧吸的表座更有利于激光干涉仪的安装。

镜组使用灵活。

它包括线性测量镜、测角镜、平面度测量仪、直线度测量仪、垂直度测量仪、激光准直仪等。实践中，可结合部分功能不同的镜组以满足测量要求。例如角度测量镜组中的反射镜，也可以替代线性测量镜组中的反射镜；用激光准直镜可缩短调整时间。

此外，各种测量镜组也可使用各种测量镜组，一般使用分光镜或光学直角器来改变光路，方便测量。这样就需要了解设备的性能，掌握测量技巧，在保证测量精度的前提下活学活用。

配备计算机是必要的。

激光干涉仪通常与笔记本电脑配合使用，但是如果不注意特殊问题，软件冲突和计算机病毒就会影响测量和使用。

什么因素决定了激光干涉测量的精度？

实际上，激光干涉仪需要确定每一种测量应用能够达到的真实精度水平，以保证测量数据的精度和可靠性。因为激光干涉系统的测量读数Z终值与激光波长有关，其频率的准确性和稳定性是激光干涉测量精度的保证。另外，环境条件补偿系统(压力、温湿度传感器)的准确度直接影响激光干涉仪Z端子的测量精度。

总之，影响激光干涉仪测量精度的因素有：①激光频率(波长)和频率稳定度；②软件系统所产生的误差；③反射镜和圆锥棱角误差；④温湿度和压力传感器误差；当然，在具体测量任务中，测量精度还与测量人员、现场环境条件等因素有关。

用于激光干涉测量。

激光干涉仪必须有人看管，加技术员专人送检，他人不得随意使用，以免降低精度。

在环境要求干燥、通风、防震、防雾、防尘、防锈的激光干涉仪存放。器具必须保持干燥。所有的仪器都不能压，冻，湿，热，热。仪表盒不要靠近火炉或加热管。

在使用激光干涉仪时，应小心轻放，以免产生较强的冲击振动。脚架放置前，请检查是否牢固。工作人员在整个操作过程中不得离开仪器，以免发生意外。

在强风、湿气和温度变化较大的环境中，应避免进行激光干涉测量，这将严重影响测试结果。

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