1.电阻

10^-5～2×10^5Ω

10^-6～2×10^5Ω

2.方块电阻

10^-5～2×10^5Ω/□

10^-6～2×10^5Ω/□

3.电阻率

10^-6～2×10^6Ω-cm

10-7～2×106Ω-cm

4.测试电流

0.1μA.1μA.10μA，100µA，1mA，

10mA，100mA

1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA

5.电流精度

±0.1%

6.电阻精度

≤0.3%

7.PC软件操作

PC软件界面：电阻、电阻率、电导率、方阻、温度、单位换算、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、2D、3D图谱、报表生成等

8.压力范围（选购）

探针压力可调范围：软件控制,100-500g可调

9.探针

针间绝缘电阻：≥1000MΩ；机械游移率：≤0.3%

铜镀金或钨钢材质，探针间距1mm；2mm；3mm选配，其他规格可定制

10.可测晶片尺寸载台选购

选购:载台晶圆尺寸：2-12寸（6寸150mm，12寸300mm）其他规格可定制

11.分析模式

单点、五点、九点、多点、直径扫描、面扫描等模式的自动测试

12.重复性

单点重复性：重复性≤0.5% 

13.防护功能

具有限位量程和压力保护;误操作和急停防护;异常警报

14.电源

输入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗：<600W

1

3310-CSX

测试线

套

1

2

09A

标准电阻

个

1-5

选购规格和数量

3

3310-YPT-2

晶圆样品台

套

1

2寸;4寸;6寸;12寸选购

4

3310-06B

四探针探头

个

1

直线型

5

340-TTZ

镀金弹簧铜针4根

组

1

4根为一组

6

340-WTZ

弹簧钨针4根

组

1

4根为一组

7

3310-RJ

分析软件

套

1

8

PC

电脑+打印机

套

1

依据客户要求配置

9

3310-JL

检测技术服务

份

1

计量证书1份

延保服务  

年

1-3