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光氧催化废气净化设备的工作原理：在外界可见光或者设备内部的紫外光的作用下发生催化氧化作用的，光催化氧化反应是以纳米TiO2二氧化钛及空气作为催化剂，以光为能量，裂解有机物等有机物降解为CO2和H2O。 在光催化氧化反应中，在253.7nm波段的紫外线光能的照射下纳米TiO2催化板吸收光能并同时产生电子跃进、空穴跃进，电子跃进和空穴跃进强力结合后产生电子空穴对，一般与表面吸附的H20、O2反应生成氧化性很活波的氢氧自由基（OH-）和超氧离子自由基（O2-、O-）。能够把空气中各种有害气体其他TVOC类有机物直接氧化原成H2O和CO2等小分子物质，因为采用的氧化剂是空气当中的H2O和O2，所以不会产生任何二次污染。 以甲苯为例：利用185nm波段的紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。 UV＋O2O-+O＊(活性氧)O+O2O3(臭氧),众所周知臭氧对有机物具有很强的氧化作用，对工业废气及其它小分子物有立竿见影的净化效果。经过光氧催化废气净化设备处理后的有机废气能够分解H2O和CO2等，有机废气处理的效率能到达到85%以上。
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