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变频器接地端子应按规定进行接地,必须在专用接地点可靠接地,不能同电焊、动力接地混用;变频器输入端安装无线电噪声滤波器,减少输入高次谐波,从而可降低从电源线到电子设备的噪声影响;同时在变频器的输出端也安装无线电噪声滤波器,以降低其输出端的线路噪声。安装环境变频器属于电子器件装置,在其说明书中有详细安装使用环境的要求。在特殊情况下,若确实无法满足这些要求,必须尽量采用相应措施:振动是对电子器件造成机械损伤的主要原因,对于振动冲击较大的场合,应采用橡胶等避振措施;潮湿、腐蚀性气体及尘埃等将造成电子器件锈蚀、接触不良、绝缘降低而形成短路,作为防范措施,应对控制板进行防腐防尘处理,并采用封闭式结构;温度是影响电子器件寿命及可靠性的重要因素,特别是半导体器件,应根据装置要求的环境条件安装空调或避免日光直射。分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,如用“V”表示半导体器件和电真空器件,用“K”表示继电器、接触器类等。双字母符号是由一个表示种类的字单母符号与另一个表示用途、功能、状态和特征的字母组成,种类字母在前,功能名称字母在后。如“T”表示变压器类,则“TA”表示电流互感器,“TV”表示电压互感器,“TM”表示电力变压器等。辅助文字符号基本上是英文词语的缩写,表示电气设备、装置和元件的功能、状态和特征。,“起动”采用“START”的前两位字母“ST”作为辅助文字符号,另外辅助文字符号也可单独使用,如“N”表示交流电源的中性线,“OFF”表示断开,“DC”表示直流等。
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三、维护保养时的注意事项在对中频电炉进行维护保养时,应保持中频发电机房内的清洁,严禁易的物品堆放。对熔损过度的炉膛及时进行修补,在补炉时要避免铁屑、氧化铁混入,保坩埚的密实。
其中,直接有效的方法是提高生产时效,增加单炉的月产能。笔者长期从事单晶生产工作,经调研与现场试验,采用离线装料技术不仅可以缩短运行周期、提高工作效率,而且可以确保坩埚内所装硅料的洁净度,具有较强的实用性和经济推广价值。1离线装料的工作原理使用一个真空吸盘和一个的密封圈与装满多晶硅原生料的石英坩埚密封,
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一种实用的单晶炉提拉速度控制系统\前言半导体材料是半导体工业的基础材料 ,在半导体材料中用量和用途广的是半导体硅。当今 95 %以上的半导体器件是用硅材料制造的 ,99%以上的集成电路是硅集成电路。生产集成电路所需要的单晶硅 ,是在硅结晶生长开始时 ,用低速提拉、生长过程均速提拉的办法制成的。提拉速度的控制性能将直接影响到晶体的质量。当今 ,随着 IT产业的迅速发展 ,单晶硅生产市场需求剧,研制一种满足工艺要求、低成本的提拉速度控制系统具有重要的实际意义。本文结合某单晶炉产品的研制 ,设计了一种实用的单晶炉提拉速度控制系统 ,并在实际生产中获得成功应用。2 设计的关键图 1示出了单晶炉提拉的工艺过程。提拉控制系统的驱动电机转速 n经减速器、齿轮齿条减速后带动提拉杆上下运动。根据硅单晶生产工艺 ,要求提拉速度 V能在 ( 0 .2~ 1 0 .0 ) mm/h内无级调节 ,它相对于给定信号的线性精度 ± 2 %。经折算后 (见下节式 ( 3) ) 三极管OC-813可以用П1П40П402等代替;晶体二极管0A625可以用任何型号的点接触型晶体二极管代替。在前面几种电路中,是用晶体三极管兼作检波和放大的。下面再介绍另一种经过实验的类似的电路(),供大家试制时参考。在电路中,单加了一只二极管专作检波。另外,用了两个输入回路,其中一个(L2C4)用以取得高频信号,另一个(L1C2)用以取得电源。两回路的线圈,各有若干抽头,以便选择合适的位置。各零件的数据及要求分别叙述如下。
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