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SIC涂层、石墨基座/Mocvd盘
产品概述
SIC 涂层石墨基座具有耐高温、抗氧化、耐冲刷、纯度高和耐酸碱盐及有机试剂等特性，物理化学性能稳定。与高纯度石墨相比较，高纯石墨在400℃时开始发生强烈氧化，即使温度不高，长期应用也会因氧化而掉粉末，会依附工件和台面或污染使用环境，因此SIC涂层石墨基座作为一种新耗材，MOCVD设备、粉末烧结、发热元件等工序上逐渐代替高纯石墨。
主要特点：
1.高温抗氧化：抗氧化,温度高达1600℃时抗氧化性能仍然非常好；
2.纯度高：高温氯化条件下化学气相沉积方法制得的；
3.耐冲刷：硬度高、表面致密、颗粒细；
4.抗腐蚀性：耐酸、碱、盐及有机试剂；
5.SIC表面层为β-碳化硅，属面心立方。
6.气相沉积方式，涂层厚度均匀。
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