布鲁克Bruker原子力显微镜探针AFM探针 轻敲模式 OTESPA R3

针尖位于测微悬臂的最前端，使用者非常容易定位。

此型号为布鲁克贴标产品，同型号奥林巴斯OMCL-AC160TS-R3 探针。

悬臂共振频率：300 (±100) kHz（空气中），弹性系数：26 N/m。

针尖曲率半径：7nm（典型值）

AL涂层。

OTESPA-R3可视探针优点：

1)激光定位更容易

针尖位于悬臂的末端。探针定位更容易，特别是当AFM和光学显微镜结合使用时，如使用Bioscope Resolve时。

 2)高横向分辨率:

针尖曲率半径对图像分辨率有极大影响。四面体形状是获得点更小针尖曲率半径的理想形状。Otespa—R3曲率半径很小，即使有铝涂层，其平均曲率也小于10nm。

OTESPA探针覆盖了广泛的应用范围，但它在晶体表面、薄膜、IC器件等方面的观察非常出色。

3)粗糙样本的观察:

针尖非常薄，顶锥角为35度，使用者可以看到样品的一部分。此外，针尖是一个倾斜的角度，安装到AFM上以后，这个角度会变小(可能是5到20度)。这对粗糙样品同样适用。

详细规格：

延展阅读：

关于布鲁克：

布鲁克公司以先进的生产工艺，专业的AFM领域背景，得天独厚的生产装备，赋予探针制造众多的优势，确保在最广泛的应用领域中提供最完整的AFM解决方案。

布鲁克AFM探针制造中心独特优势：

*Class100级别的无尘室

*先进的设计、制造工序及制造工具

*探针设计团队与AFM设备研发团队通力合作，配合紧密

*训练有素的生产团队，制造出各种型号的探针

*全面的质量管理体系，确保探针性能行业领先

在实验中，用户所得到的数据取决于探针的质量及探针的重复性。布鲁克的探针具有严格的纳米加工控制，全面的质量测试，和AFM领域的专业背景。所以用户尽可放心，我们的探针不仅为您当前的应用提供所需的结果，同时也能为将来的研究提供参考数据。

原子力显微镜AFM探针:  

探针的工作模式：主要分为：扫描(接触)模式和轻敲模式

探针的结构：悬臂梁+针尖

探针针尖曲率半径Tip Radius：一般为10nm到几十nm。

制作工艺：半导体工艺制作

指标：

探针的指标主要分三个部分，分别对应了基片，微悬臂梁，和针尖三个部分。

1. 基片，就是基片的长，宽，高，各种探针的基片尺寸是基本一致的。

2. 悬臂梁，分为矩形梁和三角形悬臂梁，他们的长宽厚的几何尺寸决定了悬臂梁的弹性系数和共振频率。而弹性常数K是探针的很重要的一个参数，一般来说，接触模式的探针的弹性常数小于1N/m。轻敲模式的探针的悬臂梁弹性系数从几个N/m到几十个N/m。常用的RTESP的弹性常数是40N/m。

3. 针尖，针尖的的几何形状是一个四面体。指标主要有，曲率半径(Tip Radius)，探针高度（Tip Height），对应于四面体的指标，前角（Front Angel），后角（Back Angel），侧角（Side Angel），还有一个是Tip Set Back，对应的是针尖离悬臂梁最末端的水平距离。

材质：

1. 轻敲探针：一般是单晶硅，型号如RTESP；

2. 接触模式探针：材质是SiN，而新型号的SNL接触探针，悬臂梁是SiN，而针尖则Si（曲率半径2nm左右），这种探针可以提供接触模式下的分辨率图；

3. 功能探针：如磁力探针（MESP），导电探针，则是在普通的硅探针的基础上再镀上相应的材料。MESP的镀层是Co/Cr，SCM-PIT的镀层是Pt。

常用探针型号介绍：

  常用探针型号介绍

1. 轻敲模式，RTESPA-300，TESP，FESP

2. 接触模式，SNL，NP，

3. 智能扫描模式：Scanasyst air,ScanAsyst-fluid,ScanAsyst-Fluid+

4. 磁力显微镜，MESP-V2,MESP-RC-V2

5. 静电力显微镜，导电AFM，等电学测量模式，DDESP，SCM-PIT，SCM-PIC等。

6.  其他特殊功能探针。如金刚石探针，大长径比探针。